接纳特别的炉胆布局和加热器安排，炉温平均性好；
接纳特别布局脱脂箱，密封结果好，脱脂完整，对炉内元件无净化；
具有柔性抽真空、真空烧结、压力烧结、微正压烧结、分压烧结、负压脱脂、TOWAC脱脂、微正压脱脂等功 能；
接纳最早进的隔热布局和资料，炉胆隔热机能好、蓄热少，比传统设想节能20%以上；
适于工艺氛围: N2/Ar/H2/CH4/NH3。
| 参数/型号 | VDSF-030306 | VDSF-040408 | VDSF-040415 | VDSF-050520 |
| 任务区尺寸 W×H×L（mm） | 300×300×600 | 400×400×800 | 400×400×1500 | 500×500×2000 |
| 最低温度（℃） | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
| 温度平均性（℃） | ±4 | ±4 | ±5 | ±5 |
| 极限真空度（Pa） | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 压升率（Pa/h） | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 |
| 加热体例 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参可按照工艺请求停止调剂，不作为验收根据，详细以手艺计划和和谈为准。
炉门锁紧体例: 手动/主动
炉壳材质: 全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质: 碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/金属
发烧体、马弗材质: 石墨/CFC/金属
热电偶: C分度号（钨套管/钼套管/陶瓷套管）
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