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400-677-0098
关键词: 化学气相堆积炉CVDCVI堆积炉
卧式化学气相堆积炉(堆积炭)
卧式化学气相堆积炉(堆积炭)
产物描写:
卧式化学气相堆积炉(堆积炭)首要用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的资料外表或基体的CVD/CVI处置
利用规模:
炭/炭刹车盘、晶体炉坩埚、热压模具、低温发烧体/紧固件、热场资料等

卧式化学气相堆积炉(堆积炭)技术特点

电阻炉可接纳多温区自力控温,温度平均性好;

接纳智能压力调控,压力动摇小;

全封锁堆积室,密封结果好,抗净化才能强;

多通道工艺气路,流程平均,无堆积死角,堆积结果好;

多级高效尾气处置体系,情况友爱,易清算;

可选配外轮回快冷体系,降温时候短,出产效力高;

可用于低温热解炭堆积,最低温度可达2200℃;

合用于工艺氛围: 真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

卧式化学气相堆积炉(堆积炭)产物规格

参数\型号HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-252035-C
任务区尺寸 W×H×L(mm)600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30002500×2000×3500
最低温度(℃)15001500150015001500
温度平均性(℃)±7.5±7.5±10±10±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加热体例电阻电阻电阻电阻电阻
以上参数可按照工艺请求停止调剂,不作为验收根据,详细以技术计划和和谈为准。

卧式化学气相堆积炉(堆积炭)设置装备摆设挑选

布局情势: 卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧体例: 手动/主动

炉壳材质: 全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质: 碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗: 石墨/CFC/金属

热电偶: K/N/C/S分度号

电源: KGPS/IGBT(仅合用于中频加热)

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